?FEP〔氟化乙烯丙烯共聚物〕因其優(yōu)秀介電性能、化學(xué)惰性、耐熱性、柔韌性,于半導(dǎo)體、有機(jī)行業(yè)具有許多用途。以下是其主要用途方向及典型示例:
1. 有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管〔OFET〕介電層
- FEP 可作為 OFET 柵極介電層,提供穩(wěn)固不導(dǎo)電性能,并于寬溫度范圍內(nèi)保持器件性能。
- 其低表面能、高擊穿場(chǎng)強(qiáng)有助于實(shí)現(xiàn)高遷移率、低操作電壓 OFET,適用于柔性、可穿戴設(shè)備。
2. 傳感器、探測(cè)器
- FEP 被用于高靈敏度指紋傳感器、氣體傳感器、光電探測(cè)器。例如,于 OFET 結(jié)構(gòu)中引入 FEP 介電層可提升對(duì) NO? 氣體檢測(cè)限、選擇性。
- 其光學(xué)透明性〔尤其于紫外至可見(jiàn)光區(qū)域〕使其適用于微流控芯片中熒光、吸光度檢測(cè)。
3. 存儲(chǔ)器、電容
- FEP 作為鐵電體或介電材料用于嵌入式非易失存儲(chǔ)器〔如 FeFET〕、電容元件,能夠?qū)崿F(xiàn)邏輯?存儲(chǔ)一體化。
- 于柔性 2T0C DRAM 單元中,F(xiàn)EP 類介電層幫助實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)保持時(shí)間、多比特操作。
4. 微流控、光化學(xué)反應(yīng)器
- FEP 管材或芯片被用作微反應(yīng)器,因其化學(xué)惰性、低吸附性、紫外光透過(guò)性,適合進(jìn)行光化學(xué)合成、生物分析。
- “click”機(jī)械組裝技術(shù)使 FEP 平板微反應(yīng)器可實(shí)現(xiàn)無(wú)泄漏、無(wú)需通風(fēng)櫥紫外光反應(yīng)。
5. 能源、熱管理
- FEP 封裝層用于空間及面太陽(yáng)能電池模塊,提供耐候、抗紫外、不導(dǎo)電保護(hù)。
- 于電熱冷卻器件中,F(xiàn)EP 作為電活性聚合物用于固態(tài)制冷系統(tǒng)。
6. 柔性/可穿戴
- FEP 機(jī)械柔韌性、可加工性使其作為柔性電路、可拉伸傳感器、紡織理想基板或封裝材料。
總結(jié)
FEP 于半導(dǎo)體技術(shù)中用途主要集中于高頻、高可靠性介電層、傳感器、存儲(chǔ)器、微流控還有柔性行業(yè)。隨著有機(jī)、半導(dǎo)體工藝進(jìn)一步發(fā)展,其于低功耗、高集成度器件中使用前景仍將連續(xù)擴(kuò)大。
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