聚偏氟乙烯〔PVDF〕因其優(yōu)秀化學(xué)穩(wěn)固性、高純度、電氣不導(dǎo)電性還有壓電/熱電特性，于半導(dǎo)體生產(chǎn)、相關(guān)設(shè)備中具有多方面用途。

1. 高純度化學(xué)品輸送、存儲  

PVDF 管道、閥門、儲槽組件大量用于半導(dǎo)體工廠高純度化學(xué)品〔如蝕刻液、清洗劑〕輸送系統(tǒng)，其耐強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、低滲透性可避免污染工藝流體。

2. 封裝、不導(dǎo)電材料  

于芯片封裝中，PVDF 用作封裝基板、電纜不導(dǎo)電層，提供機(jī)械保護(hù)、防潮、防塵并實(shí)現(xiàn)電氣隔離，提升芯片可靠性。

3. 壓電、傳感器件  

PVDF 壓電性能使其可用于柔性壓力傳感器、聲波探測器及振動傳感器，將機(jī)械信號轉(zhuǎn)換為電信號，適用于晶圓處理、精密控制環(huán)節(jié)。

4. 生產(chǎn)設(shè)備部件  

于半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部，PVDF 用于反應(yīng)腔襯里、晶圓夾持器、超純水系統(tǒng)管道，其耐腐蝕、潔凈特性保障制程穩(wěn)固性。

5. 功能薄膜、能量收集  

PVDF 基多孔膜、凝膠隔膜于二次鋰電池中用于半導(dǎo)體設(shè)備后備電源；其壓電薄膜還可用于納米發(fā)電機(jī)，為低功耗器件收集能量。

6. 新興用途  

近年來 PVDF 被探索用于柔性天線、可穿戴、光探測器薄膜器件，為半導(dǎo)體技術(shù)向柔性、集成化發(fā)展提供支持。

綜上，PVDF 于半導(dǎo)體行業(yè)用途覆蓋從化學(xué)品處理、封裝保護(hù)到傳感器、能量收集多個關(guān)鍵環(huán)節(jié)，是支撐半導(dǎo)體工藝高純度、高可靠性很大材料。

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